[发明专利]单晶硅制绒添加剂、制绒方法以及绒面单晶硅片制备方法在审
| 申请号： | 202010276903.8 | 申请日： | 2020-04-09 |
| 公开（公告）号： | CN111455467A | 公开（公告）日： | 2020-07-28 |
| 发明（设计）人： | 李新普;高志博;贾锐 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | C30B33/10 | 分类号： | C30B33/10;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京兰亭信通知识产权代理有限公司 11667 | 代理人： | 陈晓瑜 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种单晶硅制绒添加剂，包括：溶剂以及质量比为0.25％～1.5％绒面催化剂、0.1％～3％环糊精和0.52％～1.9％绒面缓蚀剂。还提供一种单晶硅制绒方法，包括：将单晶硅片通过制绒剂制绒，其中，制绒剂包括溶剂以及质量百分比为0.5％～3％碱和体积百分比为0.1％～2％如上述单晶硅制绒添加剂。还提供一种绒面单晶硅片制备方法，包括：将单晶硅片在碱性环境中进行抛光，以去除单晶硅片损伤层；将去除损伤层单晶硅片在碱液中进行清洗，以去除单晶硅片表面杂质；将去除杂质单晶硅片采用如权利要求6～8任意一项单晶硅制绒方法进行制绒；将制绒后单晶硅片在碱液中进行清洗，以去除单晶硅片表面杂质；将去除杂质单晶硅片在酸液中进行清洗。本发明能够在单晶硅片表面制备均匀细密金字塔结构。 | ||
| 搜索关键词： | 单晶硅 添加剂 方法 以及 制备 | ||
【主权项】：
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