[发明专利]一种多晶硅棒自动切割清洗装置在审
| 申请号： | 202010277371.X | 申请日： | 2020-04-10 |
| 公开（公告）号： | CN111452239A | 公开（公告）日： | 2020-07-28 |
| 发明（设计）人： | 陈德榜;严泽君 | 申请（专利权）人： | 温州海旭科技有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/02 | 分类号： | B28D5/02;B28D7/00;B28D7/04;B01D36/04;F26B21/00;B08B3/12;B08B3/14;B08B13/00 |
| 代理公司： | 杭州伟知新盛专利代理事务所(特殊普通合伙) 33275 | 代理人： | 李成龙 |
| 地址： | 325000 浙江省温州市温州*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及多晶硅生产设备领域，特别涉及一种多晶硅棒自动切割清洗装置。包括有晶硅棒自动进料机构、与晶硅棒自动进料构连接的晶硅棒切割机构、设于晶硅棒自动进料机构与晶硅棒切割机构之间的晶硅棒夹持机构、设于晶硅棒切割机构下方的晶硅棒自动清洗机构及与晶硅棒自动清洗机构连接的晶硅棒烘干机构，所述的晶硅棒烘干机构与晶硅棒自动清洗机构连接的另一端处设有晶硅棒接料台。本发明的目的在于提供了一种能够节省人工成本，提高生产效率的多晶硅棒自动切割清洗装置。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 自动 切割 清洗 装置 | ||
【主权项】：
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