[发明专利]一种高温石墨烯压力/温度一体化传感器在审
| 申请号： | 202010277704.9 | 申请日： | 2020-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN111337083A | 公开（公告）日： | 2020-06-26 |
| 发明（设计）人： | 李孟委;王俊强;齐越 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | G01D21/02 | 分类号： | G01D21/02;G01L19/00;G01K7/16;G01L9/00 |
| 代理公司： | 北京惠智天成知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11681 | 代理人： | 刘莹莹 |
| 地址： | 030051*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 一种高温石墨烯压力/温度一体化传感器，可以在温度1200℃、压力3MPa的环境下正常工作，所述传感器包括：一个封装外壳；陶瓷端盖，所述陶瓷端盖，设置在所述封装外壳顶部，所述陶瓷端盖上设置有多个通孔形成多孔结构；基板，所述基板设置在所述封装外壳内侧的底部；检测组件，所述检测组件设置在所述基板上用于检测压力和温度。本发明在原有温度和压力传感器基础上，利用包含石墨烯的纳米膜替代其它金属材料或者半导体材料，大大的提高了温度传感器的测温区间，并且由于石墨烯材料的高热导率，有效的提高了器件的响应速度。温度对压力的原位补偿使得压力信号精确度更高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高温 石墨 压力 温度 一体化 传感器 | ||
【主权项】：
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