[发明专利]半导体温控装置的测试方法、装置、电子设备及存储介质有效

专利信息
申请号: 202010277769.3 申请日: 2020-04-08
公开(公告)号: CN111522324B 公开(公告)日: 2021-06-22
发明(设计)人: 常鑫;冯涛;李文博;董春辉;芮守祯;何茂栋;曹小康 申请(专利权)人: 北京京仪自动化装备技术股份有限公司
主分类号: G05B23/02 分类号: G05B23/02;H01L21/67
代理公司: 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 代理人: 郭亮
地址: 100176 北京市大兴区*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明实施例提供一种半导体温控装置的测试方法、装置、电子设备及存储介质,通过确定至少一个测试温度点的预设测试参数;并根据预设测试参数控制半导体温控装置运行,采集测试温度点的实际温度值;生成至少包括实际温度值的测试结果。本发明实施例改变了现有技术中需要人工操作测试环节的方式,降低了人工参与程度,提高了调试的效率。
搜索关键词: 半导体 温控 装置 测试 方法 电子设备 存储 介质
【主权项】:
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