[发明专利]一种硅片载盘推齐定位装置、载板输送系统及输送方法在审
| 申请号： | 202010278340.6 | 申请日： | 2020-04-10 |
| 公开（公告）号： | CN111302065A | 公开（公告）日： | 2020-06-19 |
| 发明（设计）人： | 李新丰;连建军;董平博;王彦齐 | 申请（专利权）人： | 苏州迈为科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B65G49/07 | 分类号： | B65G49/07 |
| 代理公司： | 江苏瑞途律师事务所 32346 | 代理人： | 王珒 |
| 地址： | 215200 江苏省苏州市吴江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种硅片载盘推齐定位装置、载板输送系统及输送方法，属于硅片输送设备技术领域。本发明的硅片载盘推齐定位装置，其载板推齐单元包括输送轨和升降机构，输送轨上设置有阻挡机构和载板推齐机构；载板推齐机构包括第一驱动件和第一推齐件；载盘定位单元包括载盘推齐机构和载盘定位机构，载盘推齐机构包括第二驱动件和第二推齐件。载板推齐机构用于推齐载板；第二推齐件用于推齐载盘；载盘定位机构调整载盘位置和角度，使载盘能够准确定位在上料位，方便于将硅片放入相应的载盘，且能有效地防止硅片的边沿与载盘发生接触和磕碰而损坏。本发明的载板输送系统及输送方法，上料效率和输送效率高，所输送的硅片不易发生损坏。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 载盘推齐 定位 装置 输送 系统 方法 | ||
【主权项】：
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