[发明专利]一种锅形靶材加工成型方法有效
| 申请号： | 202010280001.1 | 申请日： | 2020-04-10 |
| 公开（公告）号： | CN111421063B | 公开（公告）日： | 2022-02-18 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;廖培君 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B21D37/16 | 分类号： | B21D37/16;B21D37/10;B21D22/02 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种锅形靶材加工成型方法，所述方法包括：将待冲压板坯进行加热，之后与下模具组装并安装上模具得到待冲压件，所述待冲压件经冲压得到锅形靶材；其中，所述冲压中加压的速率为20‑50mm/s。可制得合格的锅形靶材，使得通过该方法制得的锅形靶材溅射薄膜均匀性更好，相对平面靶材，锅形靶材的溅射寿命会更长，可以有效减少靶材制备成型后的加工余量，制备得到的锅形靶材溅射的离子收益率要更高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 锅形靶材 加工 成型 方法 | ||
【主权项】：
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