[发明专利]多参量气体传感微芯片及其制备方法、气体传感器在审
| 申请号： | 202010281584.X | 申请日： | 2020-04-10 |
| 公开（公告）号： | CN113511626A | 公开（公告）日： | 2021-10-19 |
| 发明（设计）人： | 李娜;杨哲;安飞;孙冰;张树才;姜慧芸;朱红伟 | 申请（专利权）人： | 中国石油化工股份有限公司;中国石油化工股份有限公司青岛安全工程研究院 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京润平知识产权代理有限公司 11283 | 代理人： | 肖冰滨;王晓晓 |
| 地址： | 100728 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及气体传感器技术领域，公开了一种多参量气体传感微芯片及其制备方法。所述微芯片包括微加热结构和传感结构，所述微加热结构包括硅基衬底以及设置于硅基衬底上的加热层，所述加热层分为多个不同温度的加热区；所述传感结构包括多个测量电极以及涂覆于所述测量电极的气体敏感膜，多个所述测量电极分别设置于对应的加热区，多个所述测量电极涂覆的气体敏感膜的材料不相同。本发明通过微加热结构的多个加热区为多种气体敏感膜提供对应的加热温度，实现多参量(不同传感材料、不同温度)的气体检测功能，即在单个微芯片上结合多种传感材料在不同温度下进行检测，实现复杂气氛检测功能，缩小体积，降低功耗，提高集成度。 | ||
| 搜索关键词： | 参量 气体 传感 芯片 及其 制备 方法 传感器 | ||
【主权项】：
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