[发明专利]一种多层纳米复合四面体非晶碳膜制备工艺

摘要

本发明公开了一种多层纳米复合四面体非晶碳膜制备工艺，本发明包含五个工艺步骤，并且多层纳米复合四面体非晶碳膜的膜层结构分为注入钉扎层、金属过渡层、金属氮化物过渡层和非晶碳膜层(ta‑c)，本发明的有益效果是：本发明能够有效的提高剃须刀表面沉积的非晶碳膜的硬度，膜基结合力和耐摩擦磨损性，能够制备出具有润滑效果的非晶碳膜涂层，制备过程中，设备操作简单，工艺成熟，可实现批量生产，本发明不仅仅可以应用于手动剃须刀领域，也适合所有其它刀具轴承等零件中高硬耐磨涂层沉积。