[发明专利]气体传感器及其制备方法和调控气体传感器性能的方法在审
| 申请号： | 202010284655.1 | 申请日： | 2020-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN111551587A | 公开（公告）日： | 2020-08-18 |
| 发明（设计）人： | 宋健;李铁;郭腾飞;王跃林 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | G01N27/00 | 分类号： | G01N27/00 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫;贾允 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本申请提供一种气体传感器及其制备方法和调控气体传感器性能的方法，该气体传感器为有机场效应晶体管气体传感器，包括：绝缘层；敏感材料层；敏感材料层设于绝缘层的上表面；源极和漏极；源极和漏极采用叉指电极制备形成；叉指电极设于敏感材料层的上表面；本申请实施例提供的有机场效应晶体管气体传感器的敏感材料层的分子排布能够通过调整敏感材料层制备工艺进行调控；通过调控敏感材料的分子排布能够优化气体传感器的性能，且不同分子排布状态的敏感材料制备成的气体传感器能够进行不同气体分子的识别。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 传感器 及其 制备 方法 调控 性能 | ||
【主权项】：
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