[发明专利]类金刚石薄膜及制备方法有效
| 申请号： | 202010286376.9 | 申请日： | 2020-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN113529031B | 公开（公告）日： | 2023-09-08 |
| 发明（设计）人： | 胡琅;徐平;侯立涛;冯杰;胡强;吴猛 | 申请（专利权）人： | 季华实验室 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/06 |
| 代理公司： | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人： | 张志江 |
| 地址： | 528200 广东省佛山市*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： |
本发明公开一种类金刚石薄膜及制备方法，其中，类金刚石薄膜包括基材层、过渡层和类金刚石层，过渡层贴设于基材层的一侧，类金刚石层贴设于过渡层远离基材层的一侧，类金刚石层内掺杂有氮原子，以调节类金刚石薄膜内sp |
||
| 搜索关键词： | 金刚石 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于季华实验室，未经季华实验室许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010286376.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
