[发明专利]一种便于与设备连接的一体型旋转靶材在审
| 申请号： | 202010287235.9 | 申请日： | 2020-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN111286704A | 公开（公告）日： | 2020-06-16 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;窦兴贤;王学泽;王青松;呼雷 | 申请（专利权）人： | 合肥江丰电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 230012 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明属于半导体技术领域，涉及一种便于与设备连接的一体型旋转靶材，所述便于与设备连接的一体型旋转靶材包括溅射靶材主体、分别设置于溅射靶材主体两端的设备连接端与端头连接端；所述设备连接端螺纹连接有法兰，法兰与设备的连接面设有放置O型密封圈的凹槽。本发明通过将法兰与溅射靶材主体的连接方式由焊接改进为螺纹连接，不仅提高了法兰与溅射靶材主体的连接效率，也提高了法兰的利用率；而且通过在法兰设置放置O型密封圈的凹槽使所述一体型旋转靶材使用时具有良好的密封性能，从而保证了冷却效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 便于 设备 连接 体型 旋转 | ||
【主权项】：
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