[发明专利]工作台装置、光刻装置以及物品制造方法在审
| 申请号： | 202010288042.5 | 申请日： | 2020-04-14 |
| 公开（公告）号： | CN111830791A | 公开（公告）日： | 2020-10-27 |
| 发明（设计）人： | 塙理一郎 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 李鹏宇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供有利于高精度测量工作台位置的技术即工作台装置、光刻装置以及物品制造方法。工作台装置包括：工作台，能够移动；测量部，对上述工作台照射光来测量上述工作台的位置；供给部，向上述光的光路供给气体，以便在上述光路形成朝向沿着上述光路的方向的气体的气流；以及控制部，控制上述供给部，以便根据上述方向上的上述工作台的位置来变更从上述供给部向上述光路供给的气体的流量。 | ||
| 搜索关键词： | 工作台 装置 光刻 以及 物品 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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