[发明专利]一种霍尔效应电压确定方法及霍尔测试系统有效
| 申请号： | 202010288145.1 | 申请日： | 2020-04-14 |
| 公开（公告）号： | CN111474456B | 公开（公告）日： | 2021-03-05 |
| 发明（设计）人： | 郭帅;冯巍 | 申请（专利权）人： | 新磊半导体科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;G01N27/72;G01R33/07 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 215151 江苏省苏州市高新区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种霍尔效应电压确定方法及霍尔测试系统，涉及半导体测试技术领域。该霍尔效应电压确定方法包括：采用范德堡法，在施加失调补偿电压的同时，在测试磁场值和测试激励电流值下获取材料样品的电压数据；根据电压数据，计算获得初始霍尔电压；根据电压数据，计算获得霍尔电压校正值；根据初始霍尔电压和霍尔电压校正值，确定材料样品的霍尔效应电压。通过获取材料样品的电压数据，并且根据电压数据计算出表示材料样品的失调电压对霍尔效应电压的影响的霍尔电压校正值，再根据初始霍尔电压和霍尔电压校正值确定材料样品的霍尔效应电压，从而可以大幅降低霍尔测试中失调电压对霍尔效应电压结果的影响，提高所获得的霍尔效应电压的准确度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 霍尔 效应 电压 确定 方法 测试 系统 | ||
【主权项】：
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