[发明专利]具有压电致动的膜微流体阀及其制造方法有效
| 申请号： | 202010289866.4 | 申请日： | 2020-04-14 |
| 公开（公告）号： | CN111828645B | 公开（公告）日： | 2023-09-19 |
| 发明（设计）人： | E·杜奇;L·巴尔多 | 申请（专利权）人： | 意法半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | F16K1/00 | 分类号： | F16K1/00;F16K31/02;F16K99/00 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 董莘 |
| 地址： | 意大利阿格*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开的实施例涉及具有压电致动的膜微流体阀及其制造方法。微流体阀形成在主体中，该主体具有第一和第二表面；在主体中从第二表面延伸的入口通道；在主体中在相对于入口通道的横切方向上延伸的第一横切通道；以及在主体中从第一表面延伸的出口通道。入口通道、第一横切通道和出口通道形成流体路径。该微流体阀还具有：由主体形成、并且在横切通道之上延伸的阻塞部分；以及压电致动器，被耦合到阻塞部分并且被配置为将阻塞部分在阀的打开位置和阀的闭合位置移动，在阀的打开位置中阻塞部分不干扰流体路径，并且在阀的闭合位置中阻塞部分干扰且中断流体路径。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 压电 流体 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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