[发明专利]一种立式炉设备有效
| 申请号： | 202010290596.9 | 申请日： | 2020-04-14 |
| 公开（公告）号： | CN111520999B | 公开（公告）日： | 2022-02-22 |
| 发明（设计）人： | 杨慧萍;杨帅 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | F27B1/04 | 分类号： | F27B1/04;F27B1/12;F27B1/14;F27D1/18;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京思创毕升专利事务所 11218 | 代理人： | 孙向民;廉莉莉 |
| 地址： | 100176 北京市大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种立式炉设备，包括：炉体、位于炉体内的工艺管、位于工艺管中的晶舟以及设置于工艺管的底部的工艺门，还包括位于工艺管内的保温装置，保温装置包括：第一保温区，第一保温区包括多个沿工艺管轴向间隔设置的第一保温插片；第二保温区，设置与第一保温区上方，且第二保温区包括多个沿工艺管轴向间隔设置的第二保温插片；盖板，分隔第一保温区与第二保温区；环形罩，设置于盖板上方，并环绕于多个第二保温插片的外周，环形罩的顶面用于支撑晶舟；保温基座组件，位于工艺门上方且设置于第一保温区内，用于支撑多个第一保温插片，且保温基座组件与盖板固定连接。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 立式 设备 | ||
【主权项】：
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