[发明专利]一种气体流量分配装置在审
| 申请号： | 202010295256.5 | 申请日： | 2020-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN111425760A | 公开（公告）日： | 2020-07-17 |
| 发明（设计）人： | 席海冬;金鑫 | 申请（专利权）人： | 无锡溥汇机械科技有限公司 |
| 主分类号： | F17D1/04 | 分类号： | F17D1/04;F17D5/00 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 214000 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种气体流量分配装置，包括进气口、出气口、补气口，所述进气口、出气口、补气口的数量可以为一个或多个，能够满足汇集、混合、分配气体的要求，通用性强。本发明一种气体流量分配装置包括多个气流平衡器，可以保证分配到各个通道内气体流量和温度的均衡性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 气体 流量 分配 装置 | ||
【主权项】：
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