[发明专利]一种圆光栅及电涡流传感器实时测量转台五自由度运动误差的测量装置有效
| 申请号： | 202010295390.5 | 申请日： | 2020-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN111457837B | 公开（公告）日： | 2021-11-16 |
| 发明（设计）人： | 娄志峰;刘力 | 申请（专利权）人： | 大连理工高邮研究院有限公司;大连理工大学 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01B11/27;G01B7/00 |
| 代理公司： | 大连理工大学专利中心 21200 | 代理人： | 梅洪玉 |
| 地址： | 225600 江苏省扬州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种圆光栅及电涡流传感器实时测量转台五自由度运动误差的测量装置，包括实时测量的精密转台，其特征在于：所述实时测量的精密转台包括第一顶尖、第二顶尖、主轴、电涡流探头C、电涡流探头D、探头法兰盘、圆光栅编码盘、读数头法兰盘、读数头A、读数头B、读数头A′、读数头B′、盖板、轴承端盖、轴承和壳体。本发明提出的测量新方法可以嵌入到精密转台中，实现对回转角度运动误差、X、Y方向径向运动误差，X、Y方向倾斜运动误差等回转运动的五个自由度的非接触式实时测量和主轴任意位置处运动误差的在线补偿，避免了接触式测量中长时间对标准件的磨损，以及激光测量中激光漂移对测量精度的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 圆光 涡流 传感器 实时 测量 转台 自由度 运动 误差 装置 | ||
【主权项】：
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