[发明专利]一种钛钨方形靶材组件的校正方法在审
| 申请号： | 202010295403.9 | 申请日： | 2020-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN111468563A | 公开（公告）日： | 2020-07-31 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;叶裕辉 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B21D1/10 | 分类号： | B21D1/10;B21D37/16;B21D55/00;C23C14/34;F16F15/08 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种钛钨方形靶材组件的校正方法，所述校正方法包括：将温度为100‑120℃的钛钨方形靶材组件加压至凹陷2‑2.2mm，然后冷却至室温再撤去压力。本发明所述校正方法，针对钛钨方形靶材组件的力学性能特点，依靠保持的温度和凹陷的程度之间的协同作用，采用热校正方法不仅避免了钛钨方形靶材组件开裂的情况，还可以使得钛钨方形靶材组件的平面度≤0.3mm。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 方形 组件 校正 方法 | ||
【主权项】：
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