[发明专利]包括补偿电容器的设备及相关方法、存储器装置和电子系统在审

专利信息
申请号: 202010295447.1 申请日: 2020-04-15
公开(公告)号: CN111834367A 公开(公告)日: 2020-10-27
发明(设计)人: 杉岡繁;河北敬三 申请(专利权)人: 美光科技公司
主分类号: H01L27/108 分类号: H01L27/108;H01L21/8242
代理公司: 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 代理人: 王龙
地址: 美国爱*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 本申请涉及包括补偿电容器的设备及相关方法、存储器装置及电子系统。一种设备,包括彼此间隔开的第一互连线和第二互连线、在所述第一互连线和所述第二互连线上方的层间绝缘材料、在所述层间绝缘材料中并且彼此间隔开的第一触点和第二触点、在所述层间绝缘材料上方并且彼此间隔开的第三互连线和第四互连线、以及在电容器区域中的补偿电容器。所述第三互连线通过所述第一触点与所述第一互连线耦接,并且所述第四互连线通过所述第二触点与所述第二互连线耦接。所述补偿电容器包括所述层间绝缘材料上方的下电极、所述下电极上方的介电材料、以及所述介电材料上方的上电极。所述下电极包括与所述第二触点接触的边缘部分。所述第三互连线在所述介电材料上方伸长,并且被配置为提供伸长部分作为所述补偿电容器的所述上电极。公开了相关方法、存储器装置及电子系统。
搜索关键词: 包括 补偿 电容器 设备 相关 方法 存储器 装置 电子 系统
【主权项】:
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