[发明专利]激光驱动微等离子体XUV源在审
| 申请号： | 202010295477.2 | 申请日： | 2020-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN111836446A | 公开（公告）日： | 2020-10-27 |
| 发明（设计）人： | 朱利安·多米尼克·乔治·马迪奥;迈克尔·K·L·曼;克沙夫·M·丹尼 | 申请（专利权）人： | 学校法人冲绳科学技术大学院大学学园 |
| 主分类号： | H05H1/24 | 分类号： | H05H1/24;H05H1/34;H05G2/00 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人： | 宗晓斌 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开涉及激光驱动微等离子体XUV源。本文描述了用于从等离子体中生成极紫外辐射的系统和方法。在一实施例中，气体被提供给真空室中的气体靶。脉冲激光或脉冲激光驱动波长转换系统提供光束，该光束通过透镜或显微镜物镜聚焦到气体靶上，以产生等离子体。然后，使用收集反射镜将远紫外辐射束从等离子体引导到靶位置。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 驱动 等离子体 xuv | ||
【主权项】：
暂无信息
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