[发明专利]一种CDSEM图像处理方法及其装置有效
| 申请号： | 202010295827.5 | 申请日： | 2020-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN111447364B | 公开（公告）日： | 2021-11-26 |
| 发明（设计）人： | 刘佳琦;李林;于世瑞 | 申请（专利权）人： | 上海华力集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | H04N5/232 | 分类号： | H04N5/232;H01L21/66;G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 徐伟 |
| 地址： | 201315 上海市浦东新区中国（上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了CDSEM图像处理方法，用于确定CDSEM机台拍摄的待量测图形的图像的测量范围，所述CDSEM图像处理方法包括：基于所述待量测图形的图像得到第一灰度图；对所述第一灰度图作傅里叶变换以得到对应的第一频谱分布；滤除所述第一频谱分布中纵坐标绝对值大于预设阈值的频谱分量以得到第二频谱分布，所述预设阈值与背景噪点和SRAF曝光显影的信号频率有关；以及基于所述第二频谱分布来确定所述测量范围。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 cdsem 图像 处理 方法 及其 装置 | ||
【主权项】：
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