[发明专利]一种石墨基压阻式柔性压力传感器及其制作方法在审
| 申请号： | 202010296823.9 | 申请日： | 2020-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN111337168A | 公开（公告）日： | 2020-06-26 |
| 发明（设计）人： | 章城 | 申请（专利权）人： | 温州大学苍南研究院 |
| 主分类号： | G01L1/22 | 分类号： | G01L1/22;G01L9/06 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 325000 浙江省温州市苍南*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种石墨基压阻式柔性压力传感器及其制作方法，包括柔性基底一、微电机、柔性基底二、下层石墨薄膜、上层石墨薄膜、弹性绝缘微柱结构以及胶带。其中，制作方法如下：一、取下层石墨薄膜进行石墨薄膜表面弹性绝缘微柱结构工艺附着制备弹性绝缘微柱结构；二、利用石墨及弹性绝缘微柱结构转移方法对石墨以及弹性绝缘微柱结构转移至柔性基底一上；同时利用石墨及弹性绝缘微柱结构转移方法对柔性基底二表面的上层石墨薄膜进行转移；三、利用涂覆、蒸镀方法对柔性基底一两端制作微电极；四、将带有上层石墨薄膜的柔性基底二利用胶带组合粘贴在柔性基底一上。本发明具有以下有益效果：具有易于批量化、高灵敏、低成本的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石墨 基压阻式 柔性 压力传感器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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