[发明专利]光阻漂白与烘烤方法及其装置在审
| 申请号： | 202010297093.4 | 申请日： | 2020-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN111352316A | 公开（公告）日： | 2020-06-30 |
| 发明（设计）人： | 高攀 | 申请（专利权）人： | TCL华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/40 | 分类号： | G03F7/40;G02B6/00 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 远明 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种光阻漂白与烘烤装置及其方法，其特征在于，包含一烤箱，所述烤箱包含多个热压板层，多个导光板，所述多个导光板设置于所述烤箱内，多个反光板，所述多个反光板设置于多个导光板的一侧，且与所述导光板平行，多个光源，所述多个光源设置于所述烤箱内部的侧壁上，其中，所述多个光源在一漂白时间内投射一光线于所述多个导光板，所述光线被所述多个导光板的网点均匀分布，以进行漂白工艺，同时所述多个热压板层进行热风烘烤工艺。 | ||
| 搜索关键词： | 漂白 烘烤 方法 及其 装置 | ||
【主权项】：
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