[发明专利]基于柔性钛金属丝/氧化镓纳米阵列的日盲紫外探测器及其制备方法

摘要

本发明涉及一种基于柔性钛金属丝/氧化镓纳米阵列的日盲紫外探测器及其制备方法，探测器从下至上依次包括下PE保护膜、柔性Ti金属丝下电极、TiO2/β‑Ga2O3纳米柱阵列、石墨烯/Ag纳米线复合电极、Ag上电极以及上PE保护膜，其中柔性Ti金属丝为圆柱体，且所述Ti金属丝外部有TiO2，β‑Ga2O3纳米柱位于所述TiO2顶部，形成TiO2/β‑Ga2O3纳米柱阵列。本发明的PN结结构日盲紫外探测器，具有三维空间结构，柔性可弯曲，日盲特性稳定，重复性良好，具有优异的化学和热稳定性，封装后的器件与衬底结合力强，可大面积制备，重复性好，有望在可穿戴、便捷式的紫外探测器领域广泛应用。