[发明专利]一种二氯硅烷的尾气处理系统及其处理方法

摘要

本发明公开了一种二氯硅烷的尾气处理系统及其处理方法，旨在提供一种反应效果好，结构简单以及实用性强的尾气处理系统，其技术方案要点是尾气处理部分包括机架、设置于机架上的反应室、与反应室相连通的进气通道以及设置于反应室内的尾气处理机构，为了提高对尾气的处理效果，通过设置的尾气处理机构，并且将该尾气处理机构设置为包括设置于反应室内且与进气通道连通的第一通道、第二通道以及设置于反应室内的出气通道，第一通道内通有第一反应气体，第二通道内通有第二反应气体，且出气通道内设有用于尾气残留量的监测机构，通过尾气监测机构对尾气进行监测，以保证尾气的健康排放，实用性强，结构简单，本发明适用于二氯硅烷生产设备技术领域。