[发明专利]一种二氯硅烷金属离子分析装置在审
| 申请号： | 202010297885.1 | 申请日： | 2020-04-16 |
| 公开（公告）号： | CN111413430A | 公开（公告）日： | 2020-07-14 |
| 发明（设计）人： | 杨利;党春梅;韩奇 | 申请（专利权）人： | 浙江西亚特电子材料有限公司 |
| 主分类号： | G01N30/02 | 分类号： | G01N30/02;G01N30/20 |
| 代理公司： | 衢州维创维邦专利代理事务所(普通合伙) 33282 | 代理人： | 高永志 |
| 地址： | 324000 浙江省衢州市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明的技术方案是这样实现的：一种二氯硅烷金属离子分析装置，包括气相色谱仪，所述气相色谱仪检测过程中使用进样装置，所述进样装置包括密封器和水浴槽，所述密封器位于水浴槽内；所述密封器上设有用于输入氮气的氮气输送管和用于输出气体的第一排气管；所述水浴槽上设有纯水输送管、液氮输送管和排水管，该水浴槽内安装有温度传感器；所述密封器上安装有载气输送管，所述载气输送管上安装有第一启闭阀，该密封器上还设有用于排空且抽真空的真空排空装置；本发明在检测分析时有效避免了样品与空气接触，且能精准地检测气密性问题，排空抽真空稳定，检测精准。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅烷 金属 离子 分析 装置 | ||
【主权项】：
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