[发明专利]一种MEMS热电堆红外探测器及其制备方法有效
| 申请号： | 202010298456.6 | 申请日： | 2020-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN111470469B | 公开（公告）日： | 2023-09-01 |
| 发明（设计）人： | 张琛琛;丁雪峰;毛海央 | 申请（专利权）人： | 江苏创芯海微科技有限公司 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;B81C99/00;B81B7/00;B81B7/02;G01J5/12 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 刘林涛 |
| 地址： | 214135 江苏省无锡*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供的MEMS热电堆红外探测器及其制备方法，将具有自检测功能的热电阻集成到MEMS热电堆探测器上，实际使用前通过对热电阻施加电压，其产生的焦耳热通过红外吸收单元传导至热电偶对组件热端，获得热电偶对组件的输出电压，并将三次施压得到的输出电压的差值进行计算，并与响应率差值预设阈值对比，即可判断器件是否正常工作。因此实际使用前不必使用专门设备进行测试，有效降低了测试成本，减少了器件测试过程的耗时，使器件的使用更加便利。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 热电 红外探测器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江苏创芯海微科技有限公司，未经江苏创芯海微科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010298456.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
