[发明专利]一种在透明材料内制备三维光波导及光子器件结构的方法有效
| 申请号： | 202010299916.7 | 申请日： | 2020-04-16 |
| 公开（公告）号： | CN111474622B | 公开（公告）日： | 2022-08-16 |
| 发明（设计）人： | 程亚;刘争明;徐剑 | 申请（专利权）人： | 华东师范大学 |
| 主分类号： | G02B6/00 | 分类号： | G02B6/00;G02B6/12;G02B6/13 |
| 代理公司： | 上海蓝迪专利商标事务所(普通合伙) 31215 | 代理人： | 徐筱梅;张翔 |
| 地址： | 200241 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种在透明材料内制备三维光波导及光子器件结构的方法，该方法基于超快激光选择性湿法刻蚀在透明材料内部制备出三维微通道，然后在微通道内填充导波材料，形成三维光波导。通过制作不同空间构型的微通道结构，能够实现多种功能性光波导器件的可控制备。相比于传统的光波导制备方法，该方法具有如下技术优势：通过灵活选取填充材料，能够实现近红外、中红外波段波导、偏振无关波导和有源波导器件的高质量制备，而且光波导模场灵活可控，可具有较小的弯曲半径；结合超快激光加工的三维特性，可以在芯片上高密度集成复杂的三维光子回路。因此，该方法在光通信网络、光互连、天文光子学、微流控芯片等领域具有重要的应用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 透明 材料 制备 三维 波导 光子 器件 结构 方法 | ||
【主权项】：
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