[发明专利]一种预测靶材使用寿命的方法在审
| 申请号： | 202010300099.2 | 申请日： | 2020-04-16 |
| 公开（公告）号： | CN111428417A | 公开（公告）日： | 2020-07-17 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;龚润泽 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | G06F30/25 | 分类号： | G06F30/25;G01B11/24;C23C14/54;C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种预测靶材使用寿命的方法，所述方法包括以下步骤：(1)使用三维扫描的方法，获取靶材溅射前和溅射后的形貌图，采用靶材溅射前和溅射后的形貌图结合制得表面侵蚀曲线，从所述表面侵蚀曲线中得到靶材的原始厚度和靶材的最小剩余厚度；(2)构建所述靶材的最小剩余厚度、溅射功耗和所述靶材的原始厚度的函数关系，通过所述函数关系来预测所述靶材的使用寿命。所述方法能够反映靶材的真实形貌，快速找到靶材表面的实际溅射最深处，准确地得到靶材的最小剩余厚度，使靶材的利用率达到最大；所述方法适应用于各种靶材，应用范围较广。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 预测 使用寿命 方法 | ||
【主权项】：
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