[发明专利]一种靶材缺陷的检测方法在审
申请号: | 202010300117.7 | 申请日: | 2020-04-16 |
公开(公告)号: | CN111366639A | 公开(公告)日: | 2020-07-03 |
发明(设计)人: | 姚力军;窦兴贤;王学泽;王青松;周莎莎 | 申请(专利权)人: | 合肥江丰电子材料有限公司 |
主分类号: | G01N29/04 | 分类号: | G01N29/04;G01N29/30;G01N29/28;G01N29/265;G01N29/34 |
代理公司: | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人: | 王岩 |
地址: | 230012 安徽*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明提供了一种靶材缺陷的检测方法,所述方法包括以下步骤:将靶材组件组装完成后,采用超声波探伤仪对所述靶材组件进行检测;其中,所用检测条件为所述靶材组件相应的标准件检测时的检测条件。本发明所述方法通过超声波探伤仪对靶材组件内的缺陷进行检测,针对不同类型的靶材可快速调节检测参数,提高了靶材检测的速率和精确性,检测时间可减少50%左右;所述方法操作简单,方便快捷,设备及操作成本低。 | ||
搜索关键词: | 一种 缺陷 检测 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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