[发明专利]具有测量元件的承接体和承接体的制造方法在审
申请号: | 202010300737.0 | 申请日: | 2020-04-16 |
公开(公告)号: | CN112484898A | 公开(公告)日: | 2021-03-12 |
发明(设计)人: | 安德烈·罗瑟;亚历山大·威尔;阿奇姆·斯蒂奇;尤尔根·普莱尔 | 申请(专利权)人: | 威卡亚力山大维甘德欧洲两合公司 |
主分类号: | G01L9/06 | 分类号: | G01L9/06;G01L1/18 |
代理公司: | 北京博华智恒知识产权代理事务所(普通合伙) 11431 | 代理人: | 樊卫民;陈晓 |
地址: | 德国克*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明涉及用于承接处于压力下的流体或用于承接力的承接体(120),所述承接体包括膜片(121)和布置在膜片(121)上的对应变敏感的至少一个测量元件(130),所述测量元件包括半导体基体(131)和压阻的至少一个电阻轨道(132),其中电阻轨道(132)借助于掺杂构造在半导体基体(131)中。根据本发明,测量元件(130)借助无铅的玻璃焊料(150)与膜片(121)连接并且测量元件(130)布置成至少区段式地沉入到玻璃焊料(150)中。此外,本发明涉及测量元件(130)、压力传感器(100)、测力计(190)、用于制造承接体(120)的方法和测量元件(130)的应用。 | ||
搜索关键词: | 具有 测量 元件 承接 制造 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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