[发明专利]一种半导体结构在审
申请号: | 202010301253.8 | 申请日: | 2020-04-16 |
公开(公告)号: | CN111627923A | 公开(公告)日: | 2020-09-04 |
发明(设计)人: | 陈宇怀;王宏煜;苏智昱;黄志杰 | 申请(专利权)人: | 福建华佳彩有限公司 |
主分类号: | H01L27/12 | 分类号: | H01L27/12;H01L21/77 |
代理公司: | 福州市景弘专利代理事务所(普通合伙) 35219 | 代理人: | 黄以琳;张忠波 |
地址: | 351100 福*** | 国省代码: | 福建;35 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 一种半导体结构,包括第一金属层,所述第一金属层内图案化纵向依次排列的第一源漏极区、第一栅极区、第二栅极区、和第二源漏极区,图案化的栅极与源漏极处于同一水平位置,还包括第一绝缘层,第一绝缘层包覆在图案化后的栅极层与源漏极层之上,第一绝缘层还包括通孔,第一绝缘层的通孔包括第一源漏极区上的第一通孔,第二栅极区上的第二通孔,以及第二源漏极区上的第三通孔和第四通孔。上述技术方案通过将栅极金属与源漏极金属合并在同一层,通过在第一金属层中进行图案化布线,以及其上的第二金属层通过通孔、过孔连接第一金属层的栅极和源漏极。从而达到制程中减少光罩数量的效果。 | ||
搜索关键词: | 一种 半导体 结构 | ||
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
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