[发明专利]一种半导体结构在审

专利信息
申请号: 202010301253.8 申请日: 2020-04-16
公开(公告)号: CN111627923A 公开(公告)日: 2020-09-04
发明(设计)人: 陈宇怀;王宏煜;苏智昱;黄志杰 申请(专利权)人: 福建华佳彩有限公司
主分类号: H01L27/12 分类号: H01L27/12;H01L21/77
代理公司: 福州市景弘专利代理事务所(普通合伙) 35219 代理人: 黄以琳;张忠波
地址: 351100 福*** 国省代码: 福建;35
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摘要: 一种半导体结构,包括第一金属层,所述第一金属层内图案化纵向依次排列的第一源漏极区、第一栅极区、第二栅极区、和第二源漏极区,图案化的栅极与源漏极处于同一水平位置,还包括第一绝缘层,第一绝缘层包覆在图案化后的栅极层与源漏极层之上,第一绝缘层还包括通孔,第一绝缘层的通孔包括第一源漏极区上的第一通孔,第二栅极区上的第二通孔,以及第二源漏极区上的第三通孔和第四通孔。上述技术方案通过将栅极金属与源漏极金属合并在同一层,通过在第一金属层中进行图案化布线,以及其上的第二金属层通过通孔、过孔连接第一金属层的栅极和源漏极。从而达到制程中减少光罩数量的效果。
搜索关键词: 一种 半导体 结构
【主权项】:
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