[发明专利]一种基于LTCC的微型化微流量控制器有效
| 申请号： | 202010301347.5 | 申请日： | 2020-04-16 |
| 公开（公告）号： | CN111649172B | 公开（公告）日： | 2022-04-19 |
| 发明（设计）人： | 官长斌;沈岩;刘旭辉;姚兆普;张美杰;南柯;曾昭奇;范旭丰;于金盈;惠欢欢;扈延林;毛威;王兆立;李恒建;张良;李伟;赵立伟;庚喜慧;谢继香;任凯;张志伟;王建;王国华;刘鹏飞 | 申请（专利权）人： | 北京控制工程研究所 |
| 主分类号： | G05D7/06 | 分类号： | G05D7/06;B01J19/00;F16K99/00 |
| 代理公司： | 中国航天科技专利中心 11009 | 代理人： | 高志瑞 |
| 地址： | 100080 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于LTCC的微型化微流量控制器，包括：第一陶瓷薄片、第二陶瓷薄片、第三陶瓷薄片、第四陶瓷薄片、第五陶瓷薄片、第六陶瓷薄片、第七陶瓷薄片、第八陶瓷薄片和第九陶瓷薄片；其中，第一陶瓷薄片、第二陶瓷薄片、第三陶瓷薄片、第四陶瓷薄片、第五陶瓷薄片、第六陶瓷薄片、第七陶瓷薄片、第八陶瓷薄片和第九陶瓷薄片依次叠在一起，通过高温烧结而成；其中，高温为450摄氏度～850摄氏度；第一陶瓷薄片、第二陶瓷薄片、第三陶瓷薄片、第四陶瓷薄片、第五陶瓷薄片、第六陶瓷薄片、第七陶瓷薄片、第八陶瓷薄片和第九陶瓷薄片的直径均相等。本发明实现了产品的微型化和轻质化。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 ltcc 微型 流量 控制器 | ||
【主权项】：
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