[发明专利]光源均匀性的检测系统及方法在审
| 申请号： | 202010301472.6 | 申请日： | 2020-04-16 |
| 公开（公告）号： | CN111487037A | 公开（公告）日： | 2020-08-04 |
| 发明（设计）人： | 颜博霞;亓岩;王延伟;韩哲;范元媛;王宇 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02;G01J1/42 |
| 代理公司： | 北京辰权知识产权代理有限公司 11619 | 代理人： | 付婧 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请提供一种光源均匀性的检测系统及方法，该检测系统包括：荧光装置、滤光装置、摄像装置及处理装置；荧光装置接受待测光源发射的光波，以激发荧光物质发射具有荧光波长的荧光辐射；滤光装置使所述荧光物质发射的荧光辐射通过，而使所述待测光源发射的光波过滤；摄像装置感应通过所述滤光装置的所述荧光辐射，生成所述荧光辐射对应的光谱图像，并将光谱图像发送至处理装置；处理装置对获取到的光谱图像进行处理分析，依据所述光谱图像中不同位置的荧光辐射强度，判断待测光源的均匀性是否合格。本方案，通过检测光源投射荧光物质后激发的光谱亮度，可以有效的快速检测光源的均匀性，同时可以克服光源亮度高造成的CCD相机饱和等现象。 | ||
| 搜索关键词： | 光源 均匀 检测 系统 方法 | ||
【主权项】：
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