[发明专利]一种晶体管结构及制作方法在审
| 申请号： | 202010302058.7 | 申请日： | 2020-04-16 |
| 公开（公告）号： | CN111628003A | 公开（公告）日： | 2020-09-04 |
| 发明（设计）人： | 陈宇怀;王宏煜;苏智昱;黄志杰 | 申请（专利权）人： | 福建华佳彩有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L21/336;H01L27/12;H01L21/77 |
| 代理公司： | 福州市景弘专利代理事务所(普通合伙) 35219 | 代理人： | 黄以琳;张忠波 |
| 地址： | 351100 福*** | 国省代码： | 福建;35 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种晶体管结构及制作方法，其中结构包括第一金属层，所述第一金属层内图案化栅极与源漏极，图案化的栅极与源漏极处于同一水平位置，包括第一绝缘层，第一绝缘层包覆在图案化后的栅极层与源漏极层之上，第一绝缘层还包括通孔，第一绝缘层上还包括半导体层，所述半导体层在栅极层的竖直上方，半导体层上方还设置有第二绝缘层，第二绝缘层还包括过孔，第二绝缘层的上方还设置有第二金属层，所述第二金属层通过通孔及过孔连接栅极金属及源漏极金属走线。上述技术方案通过将栅极金属与源漏极金属合并在同一层，通过在第一金属层中进行图案化布线，以及其上的第二金属层通过通孔、过孔连接第一金属层的栅极和源漏极。从而达到制程中减少光罩数量的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶体管 结构 制作方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于福建华佳彩有限公司，未经福建华佳彩有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010302058.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
