[发明专利]成膜装置及成膜方法、信息获取装置、对准方法和电子设备的制造装置及制造方法在审
| 申请号： | 202010303197.1 | 申请日： | 2020-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN112626475A | 公开（公告）日： | 2021-04-09 |
| 发明（设计）人： | 高津和正;铃木健太郎;樽茶友昭 | 申请（专利权）人： | 佳能特机株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/04;C23C14/24;C23C14/34;C23C14/54;H01L51/00;H01L51/56 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 韩卉 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供用于在将基板和掩模对准之后使基板和掩模紧贴时应对基板保持机构与掩模保持机构的相对姿势变化的技术。使用成膜装置，该成膜装置具备：支承基板的基板保持机构；与基板大致平行地支承掩模的掩模保持机构；使基板保持机构和掩模保持机构中的至少一方移动而使平面内的基板与掩模的相对位置关系变化的面内移动机构；通过使基板保持机构和掩模保持机构中的至少一方相对于另一方移动而使基板与掩模的距离变化的距离变化机构；获取基板保持机构相对于掩模保持机构的姿势信息的姿势信息获取机构；以及基于姿势信息来控制基板保持机构与掩模保持机构的相对姿势的姿势控制机构。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 方法 信息 获取 对准 电子设备 制造 | ||
【主权项】：
暂无信息
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