[发明专利]超声槽和均匀玻璃基板蚀刻方法在审
| 申请号： | 202010304925.0 | 申请日： | 2015-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN111499210A | 公开（公告）日： | 2020-08-07 |
| 发明（设计）人： | J·T·基奇;S·K-R·刘 | 申请（专利权）人： | 康宁股份有限公司 |
| 主分类号： | C03C15/00 | 分类号： | C03C15/00;C03B33/02;C23F1/08;B06B1/02;H01L21/67;B08B3/12;H01L21/48;H05K3/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 乐洪咏;沙永生 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 在一些实施方式中，超声槽包含容器、设置在该容器内的包含工作区域的蚀刻液槽和围绕蚀刻液槽周界布置的多个超声换能器，其构造使工作区域内的超声功率标准偏差小于约0.35。 | ||
| 搜索关键词： | 超声 均匀 玻璃 蚀刻 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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