[发明专利]基于弛豫铁电单晶薄膜的压电微机械超声换能器及其制备有效
| 申请号： | 202010306292.7 | 申请日： | 2020-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN111515111B | 公开（公告）日： | 2022-02-11 |
| 发明（设计）人： | 赵祥永;陈明珠;张巧珍;王飞飞;程玮;唐艳学;王涛 | 申请（专利权）人： | 上海师范大学 |
| 主分类号： | B06B1/06 | 分类号： | B06B1/06 |
| 代理公司： | 上海唯智赢专利代理事务所(普通合伙) 31293 | 代理人： | 刘朵朵 |
| 地址： | 200234 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： |
本发明基于弛豫铁电单晶薄膜的压电微机械超声换能器及其制备，涉及超声换能器技术领域。该压电微机械超声换能器由顶部电极层1，压电薄膜层2，底部电极层3，粘附层4以、衬底5以及底部空腔6组成。其中，所述顶部电极层1和底部电极层3均为铂(Pt)；所述压电薄膜层2为弛豫铁电单晶薄膜；所述粘附层4为二氧化钛(TiO |
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| 搜索关键词： | 基于 弛豫铁电单晶 薄膜 压电 微机 超声 换能器 及其 制备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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