[发明专利]应变式力传感器不锈钢弹性体的热处理工艺

摘要

本发明公开了一种应变式力传感器不锈钢弹性体的热处理工艺，属于金属材料的热处理工艺技术领域。该热处理工艺主要包括预处理、真空脱气、真空高压气淬、深冷处理、真空时效处理和真空稳定化处理步骤，其通过在真空高压气淬前增加真空脱气来降低马氏体不锈钢的气体杂质；在略低的加热温度下进行长时间真空脱气降低了真空高压气淬奥氏体化所需温度和时间，能获得细小均匀奥氏体组织；真空高压气淬前缓慢升温、冷却阶段的均匀快速冷却、降低深冷处理和真空时效处理的升降温速度、增加真空时效处理后的真空稳定化处理工序等可大大消除材料内应力。该工艺显著降低了弹性体的滞后，至不大70ppm，满足C6等级对低滞后应变式力传感器不锈钢弹性体的需求。