[发明专利]LNOI基脊型光波导端面耦合结构及其应用在审
| 申请号： | 202010309288.6 | 申请日： | 2020-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN111458793A | 公开（公告）日： | 2020-07-28 |
| 发明（设计）人： | 李金野;刘建国;戴双兴;于文琦 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | G02B6/122 | 分类号： | G02B6/122;G02B6/24 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 吴梦圆 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种LNOI基脊型光波导端面耦合结构及其应用，该LNOI基脊型光波导端面耦合结构包括衬底；绝缘层；脊型波导区，包括：第一波导芯层平板区、第一波导芯层脊型区、第二波导芯层平板区和第二波导芯层脊型区；以及第三波导芯层。本发明的结构中通过使第二波导芯层脊型区和第二波导芯层平板区分层不同步缩小成楔形结构，使第二波导芯层脊型区楔形尖端不需要尺寸很小即可将光场转换到平板区继续传输，然后在平板区楔形尖端泄露扩展到第三波导芯层继续传输，降低了小尺寸结构的制备工艺难度；本发明的结构能够实现LNOI芯片与光纤的高效率耦合，有利于实现大规模光子集成。 | ||
| 搜索关键词： | lnoi 基脊型光 波导 端面 耦合 结构 及其 应用 | ||
【主权项】：
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