[发明专利]一种声表面波滤波器及其制作方法在审
| 申请号： | 202010310390.8 | 申请日： | 2020-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN111614342A | 公开（公告）日： | 2020-09-01 |
| 发明（设计）人： | 付琛;张啸云;刘仁 | 申请（专利权）人： | 张家港声芯电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/64 | 分类号： | H03H9/64;H03H3/08 |
| 代理公司： | 苏州金项专利代理事务所(普通合伙) 32456 | 代理人： | 金星 |
| 地址： | 215600 江苏省苏州市张家港高新技术产业*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种声表面波滤波器，包括压电基底，压电基底包括厚基底部和薄基底部，压电基底的上表面设置有压电薄膜层，压电薄膜层上设置有至少一对叉指换能器，每一对叉指换能器均包括间隔输入换能器和输出换能器，输入换能器和输出换能器分别位于两侧的厚基底部并与厚基底部对应，薄基底部处于输入换能器和输出换能器之间。该滤波器利用了两种声波模式进行转换，从而扩展了器件的工作带宽。另外本发明还公开了滤波器的制作方法，利用磁控溅射工艺或晶圆键合结合机械抛光的方式在压电基底表面制作压电薄膜层，然后采用平面光刻工艺成型叉指换能器，最后进行深硅刻蚀完成薄基底部的成型。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 表面波 滤波器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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