[发明专利]一种准分子激光后端光路系统在审
| 申请号： | 202010310975.X | 申请日： | 2020-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN111451629A | 公开（公告）日： | 2020-07-28 |
| 发明（设计）人： | 邵景珍;梁勖;方晓东;林颖;朱能伟 | 申请（专利权）人： | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 主分类号： | B23K26/06 | 分类号： | B23K26/06;B23K26/073;B23K26/70 |
| 代理公司： | 合肥和瑞知识产权代理事务所(普通合伙) 34118 | 代理人： | 王挺 |
| 地址： | 230031 安徽省合肥*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种准分子激光后端光路系统，准分子激光器输出光束发射至光束整形模块中；光束整形模块将准分子激光器输出光束的矩形光斑整形为点状光斑，经光束整形模块整形后得到的点状光斑最终成像在样品台上；利用经光束整形模块整形后得到的点状光斑对样品台上的样品进行微加工；实时在线监测模块对样品的微加工形貌进行实时监测，并将实时监测结果发送给整机控制模块；整机控制模块根据样品微加工形貌的实时监测结果，控制准分子激光器输出光束的激光脉冲参数，以及控制光束整形模块的相关调节参数。本发明可以实现材料的光刻、打标、微剥蚀等多种微加工过程，是一种通用型后端光路系统。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 准分子激光 后端 系统 | ||
【主权项】：
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