[发明专利]一种热导率可控的具有微纳结构的薄膜制作方法在审
| 申请号： | 202010311142.5 | 申请日： | 2020-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN111483975A | 公开（公告）日： | 2020-08-04 |
| 发明（设计）人： | 李德芳;李卓;王欣;张金英;周朗 | 申请（专利权）人： | 北京理工大学 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京正阳理工知识产权代理事务所(普通合伙) 11639 | 代理人： | 王松 |
| 地址： | 100081 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种热导率可控的具有微纳结构的薄膜制作方法，首先在衬底上制备一层固体薄膜；然后在所述固体薄膜的表面加工热物性调控区域；最后在所述固体薄膜的热物性调控区域中填充热物性调控材料；所述热物性调控区域为根据热物性调控需求分布在固体薄膜表面的一个或多个缺陷单元；所述热物性调控材料包括用于提高固体薄膜热导率的增导材料和用于降低固体薄膜热导率的降导材料；所述增导材料为热导率高于固体薄膜热导率的固体材料，所述降导材料为热导率低于于固体薄膜热导率的固体材料。本发明的薄膜制作方法，可以实现对固体薄膜热导率的调控。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 热导率 可控 具有 结构 薄膜 制作方法 | ||
【主权项】：
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