[发明专利]催化式气体传感元件、加工方法和催化式气体传感器在审
| 申请号： | 202010311714.X | 申请日： | 2020-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN111443114A | 公开（公告）日： | 2020-07-24 |
| 发明（设计）人： | 荆高山;樊晓华 | 申请（专利权）人： | 江苏集萃智能集成电路设计技术研究所有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/16 | 分类号： | G01N27/16 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 孙仿卫 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市新吴*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种催化式气体传感元件，包括薄膜基底、检测元件、参考元件、多孔沉积层。薄膜基底的导热系数小、耐高温且绝缘；检测元件在薄膜基底上加工而成，包括检测元件加热电极、检测元件温度检测电极；参考元件在薄膜基底上加工而成，包括参考元件加热电极、参考元件温度检测电极；多孔沉积层包括沉积在检测元件上的含有催化剂的多孔载体、沉积在参考元件上的不含催化剂的多孔载体。薄膜基底上加工有隔离检测元件和参考元件的镂空区域。本发明还涉及上述催化式气体传感元件的加工方法以及应用其的催化式气体传感器。本发明具有高性能、低成本、高可靠性的优点，还具备高灵敏、良好的气体选择性、低功耗、良好的长期稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 催化 气体 传感 元件 加工 方法 传感器 | ||
【主权项】：
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