[发明专利]一种微波气体高温结晶金刚石单晶的工艺在审

专利信息
申请号: 202010316015.4 申请日: 2020-04-21
公开(公告)号: CN111437773A 公开(公告)日: 2020-07-24
发明(设计)人: 张新峰;姜再兴;龙安泽;王炜 申请(专利权)人: 江苏卓远半导体有限公司
主分类号: B01J3/06 分类号: B01J3/06
代理公司: 盐城市苏知桥知识产权代理事务所(普通合伙) 32439 代理人: 耿丹丹
地址: 226500 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明涉及人工金刚石单晶合成应用技术领域,且公开了一种微波气体高温结晶金刚石单晶的工艺,包括以下步骤:1)制备金刚石合成柱;2)合成金刚石;3)后续检测。该微波气体高温结晶金刚石单晶的工艺,通过按照步骤1)和步骤2)来进行金刚石合成柱的制备与金刚石的合成,且其均分为不同批次并进行标记,标记完成后将制得的金刚石合成柱按照步骤2)放置在微波加热装置内部进行加热和加压操作,当加热温度为800℃到1000℃时,且其内部处于标准大气压状态时可制得高品质人造金刚石单晶,达到了合成简便且合成质量较好的效果,从而有效的解决了现如今的人工金刚石单晶合成过程较为复杂且合成的品质也较为一般的问题。
搜索关键词: 一种 微波 气体 高温 结晶 金刚石 工艺
【主权项】:
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