[发明专利]一种玻璃基悬浮脊形硅波导的制备方法有效
| 申请号： | 202010316675.2 | 申请日： | 2020-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN111538120B | 公开（公告）日： | 2022-06-17 |
| 发明（设计）人： | 尚金堂;汪子及 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G02B6/138 | 分类号： | G02B6/138;G02B6/136;G02B6/13 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 姜慧勤 |
| 地址： | 210096 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开一种玻璃基悬浮脊形硅波导的制备方法，包括如下步骤：步骤1，制备带沟道的玻璃基底；步骤2，通过阳极键合工艺在玻璃基底上形成硅器件层；步骤3，在硅器件层上旋涂光刻胶，并进行光刻，在硅器件层上留下与波导脊形图案一致的条形光刻胶，再进行干法刻蚀，得到脊形硅波导芯层。此种方法可有效增强悬浮脊形硅波导芯层的结构强度及稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 玻璃 悬浮 脊形硅 波导 制备 方法 | ||
【主权项】：
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