[发明专利]交易请求的处理方法及半导体生产系统有效
申请号: | 202010317228.9 | 申请日: | 2020-04-21 |
公开(公告)号: | CN113535413B | 公开(公告)日: | 2023-10-17 |
发明(设计)人: | 黎焕诚 | 申请(专利权)人: | 长鑫存储技术有限公司 |
主分类号: | G06F9/52 | 分类号: | G06F9/52;G06Q10/02;G06Q40/04;G06Q50/04;H01L21/67 |
代理公司: | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 潘朱慧 |
地址: | 230000 安徽省合肥市*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明公开了一种交易请求的处理方法,其包括:通过代理模块完成制造执行系统与机台控制系统之间的信息交换;所述信息交换包括,所述机台控制系统将第一交易请求发送给所述代理模块,所述代理模块再将所述第一交易请求发送给所述制造执行系统。其优点是:通过设置代理模块,透过代理模块替代机台控制模块发送第一交易请求,避免了机台控制系统在接收第一交易请求时被锁定的情况,从而有效地提高制造执行系统向机台控制系统发送的第二交易请求时的预约成功率,进而提升生产效率。 | ||
搜索关键词: | 交易 请求 处理 方法 半导体 生产 系统 | ||
【主权项】:
暂无信息
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