[发明专利]一种基于显微成像微透镜参数检测的复眼成像调校方法有效
| 申请号： | 202010318184.1 | 申请日： | 2020-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN112393882B | 公开（公告）日： | 2022-08-23 |
| 发明（设计）人： | 郭鑫民;杨振;张建隆;张建军;高金红;高清京 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 哈尔滨龙科专利代理有限公司 23206 | 代理人： | 高媛 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于显微成像微透镜参数检测的复眼成像调校方法，所述方法包括如下步骤：步骤一、复眼透镜矩阵的单透镜面型参数检测；步骤二、靶标透镜的光刻参数补偿；步骤三、复眼透镜与靶标的校装。本发明基于光学系统焦平面耦合参数传递原理，通过对靶标的参数控制实现对透镜面型的补偿，由于检测流程和复眼透镜的使用流程一致，使得检测结果可信度高，且可以综合各种误差来源，具有测量精度高、检测效率高等特点。本发明通过对靶标的参数控制补偿复眼透镜的面型及位置偏差，使得复眼清晰成像。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 显微 成像 透镜 参数 检测 复眼 调校 方法 | ||
【主权项】：
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