[发明专利]一种基于等离子体结构与有机材料的硅基复合波导的电光调制器在审
| 申请号： | 202010319865.X | 申请日： | 2020-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN111458909A | 公开（公告）日： | 2020-07-28 |
| 发明（设计）人： | 郝然;林学利;焦建尧;金尚忠;冯爱明;石岩;陈义 | 申请（专利权）人： | 中国计量大学 |
| 主分类号： | G02F1/065 | 分类号： | G02F1/065 |
| 代理公司： | 杭州钤韬知识产权代理事务所(普通合伙) 33329 | 代理人： | 唐灵;赵杰香 |
| 地址： | 310018 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于等离子体结构与有机材料的硅基复合波导的电光调制器，包括自下而上依次是衬底、绝缘层和电光调制器件层。衬底主要起着机械支撑的作用，绝缘层用于避免电光调制器模块与芯片板上电路的信号串扰，电光调制器件层用于调制光信号。本发明电光调制器具有结构紧凑、调制效率高等优点，在集成光电子领域具有广泛的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 等离子体 结构 有机 材料 复合 波导 电光 调制器 | ||
【主权项】：
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