[发明专利]一种大切深磨削砂轮及其制备方法在审

专利信息
申请号: 202010320074.9 申请日: 2020-04-22
公开(公告)号: CN111376178A 公开(公告)日: 2020-07-07
发明(设计)人: 惠珍;赵延军;钱灌文;张高亮;王礼华 申请(专利权)人: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
主分类号: B24D3/10 分类号: B24D3/10;B24D3/34;B24D18/00;C22C30/02;C22C26/00;B22F1/00;B22F3/02
代理公司: 郑州联科专利事务所(普通合伙) 41104 代理人: 张丽
地址: 450001 河*** 国省代码: 河南;41
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摘要: 发明属于半导体加工技术领域,具体涉及一种大切深磨削砂轮及其制备方法。所述大切深磨削砂轮,包括以下重量份数的原料:金刚石14‑21份、铜粉28‑46份、石墨3‑6份、羰基铁14‑32份、刚玉5‑10份、酚醛树脂8‑10份、偶联剂1‑2份。本发明砂轮满足一次进给10um/s的进刀量,加工后的工件表面粗糙度值在400nm以下。
搜索关键词: 一种 大切深 磨削 砂轮 及其 制备 方法
【主权项】:
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